ACERO LEAL, MARÍA CRUZ / PLAZA PLAZA, JOSÉ ANTONIO / LORA-TAMAYO D'OCÓN, EMILIO / ESTEVE TINTÓ, JAUME
PRESENTACIÓN.- PARTE I. DESCRIPCIÓN DE LOS MICROACELERÓMETROS: Microacelerómetros piezorresistivos basados en tecnología BESOI.- PARTE II. DIARIO DEL PROCESO DE FABRICACIÓN: Diario del proceso de fabricación. Obleas de silicio.- Diario del proceso de fabricación. Obleas de vidrio.- Diario del proceso de fabricación. Dispositivos acabados.- ANEXO I. RELACIÓN DE VÍDEOS INCLUIDOS EN EL DVD.
El objetivo de este libro es divulgar las técnicas más utilizadas para fabricar microsistemas basados en silicio. La novedad que aporta este trabajo es describir y mostrar detalladamente el proceso de fabricación de un Microsistema en una Sala Blanca. En la primera parte del libro se hace una introducción teórica a los acelerómetros en general y a los acelerómetros piezorresistivos en particular. En la segunda parte se muestra día a día su proceso de fabricación, en el ?Diario del proceso?. Para una mayor compresión, esta segunda parte se refuerza con un conjunto de videos, en los cuales se muestran las etapas más importantes en el proceso de fabricación de microacelerómetros.
